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? ? 拥有碳靶和陶瓷靶帮定技术,在靶材表面微米级深度制造化学扩散区,致使靶材和背板达到高度量的连接和热传导。
? ? ? ?对高纯碳靶使用电子放电清洁技术,以大大减少溅射中产生的微粒。
? ? ? ?可提供大面积背板的溅射镀膜金属化服务,最大可做到长2米宽1.2米的靶材金属化.可帮定多种材料及形状的旋转靶分区控制热板, 精确控制其热膨胀及焊接性。
? ? ? ?C-扫描探伤:检测帮定完整性的超声测试设备。
? ? ? ?X-光探伤: 检测帮定完整性的测试程序。

? 设计和制造各向上材料的背板,例如无氧铜、钛、不锈钢、钼,包括精密加工和焊接,超净车间和真空包装。

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